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氦氣檢漏設備的結構和工作原理是什么?
來源:www.kelesheng.com 發布時間:2021/5/27 11:17:52

高純氦氣檢漏設備一般由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規組成的質譜室和抽氣系統及電氣部分等組成。襄陽高純氦氣廠家在質譜室內有:由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源;由外加均勻磁場、擋板及出口縫隙組成分析器;由抑 制柵、收集極及高阻組成收集器;一級放大靜電計管和冷陰極電離規。


逆流氦氣檢漏設備是根據油擴散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關的原理制成的。例如,多級油擴散泵對氦氣的壓縮比為102;對空氣中其它成分的壓縮比為lO4~106。檢漏時,通過被檢件上漏孔進入主抽泵前級部位的氦氣,仍有部分返流到質譜室中去,并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號。


這就是逆流氦頃質譜檢漏儀的工作原理。氦氣檢漏設備實際上可以說是一個檢氦儀,通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦氣的檢測則使用的是質譜儀,是只檢測氦的專用質譜儀,這種質譜儀將其它質量數的氣體都屏蔽掉了。

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